Ok, danke für den Tipp. Jetzt läuft LuaTeX seit 5 min durch. Also offenbar doch eher ein Fehler im Syntax. Ich Poste mal den Code der Zeichnung und hab die Daten verlinkt: [profile_xgradient][1].
\begin{tikzpicture}
\begin{groupplot}[
group style={
group name=my plots,
group size=1 by 5,
xlabels at=edge bottom, %nur untere Achsenbeschriftung
xticklabels at=edge bottom, %nur untere Achsenticks
vertical sep=0pt, %Platz zwischen den Diagrammen
},
ymin = -30, %Minimum y-Achse
ymax = 30, %Maximum y-Achse
%ytick = {0.001,0.01,0.1,1}, %Anzahl Zahlen y-Achse
xmin = 3,
xmax = 8,
xlabel={Position [\SI{}{\micro\meter}]},
width=\textwidth,
height=0.2\textheight,
%ymode=log,
no markers, % keine Punkte
%legend pos = north west, %Legende oben links
%legend style={draw=none},%Legende ohne Rahmen
]
\nextgroupplot
\addplot [color=black, smooth] table [y index=1, smooth] {profile_xgradient.csv};
\coordinate (left top) at (rel axis cs:0,1);
\addlegendentry{\scriptsize{1}};
\nextgroupplot
\addplot[color=green, smooth] table [y index=2, smooth] {profile_xgradient.csv};
\addlegendentry{\scriptsize{2}};
\nextgroupplot
\addplot[color=blue, smooth] table [y index=3, smooth] {profile_xgradient.csv};
\addlegendentry{\scriptsize{3}};
\nextgroupplot
\addplot[color=red!50!blue, smooth] table [y index=4, smooth] {profile_xgradient.csv};
\addlegendentry{\scriptsize{4}};
\nextgroupplot
\addplot[color=black!50!green, smooth] table [y index=5, smooth] profile_xgradient.csv};
{profile_xgradient.csv};
\addlegendentry{\scriptsize{5}};
\coordinate (left bot) at (rel axis cs:0,0);
\end{groupplot}
\path (left top-|current bounding box.west)--
node[anchor=south,rotate=90] {Gradientenwinkel [\SI{}{\degree}]}
(left bot-|current bounding box.west);
\end{tikzpicture}
[1]: http://texwelt.de/upfiles/profile_xgradient.csv